股民提问华微电子：公司此前获得发明专利授权“传片系统及光刻机”具体应用于光刻机什么部件？

9月11日，有投资者在股民留言板中向华微电子（600360）提问：据公司官网介绍，贵司于2021年4月6日获得发明专利授权“传片系统及光刻机”，请问该专利具体应用于光刻机什么部件？是否属于国产替代突破？

股民留言板是中国财富网打造的网上投资者工作平台。旨在帮助上市公司和投资者加强互动交流的桥梁，增进投资者对上市公司的了解，供广大中小投资者向上市公司表达诉求、反映问题、提出意见建议，由上市公司相关部门进行回复。具体请关注“股民留言板”微信小程序。